真空系統(tǒng)的各個(gè)部件，如真空室、閥、測(cè)量?jī)x器等，相互直接連接或通過(guò)管件或彈性元件連接。部件之間可拆卸的接口必須是真空密封的。然而，在配置真空系統(tǒng)中，應(yīng)該盡可能少地使用可拆卸連接件，因?yàn)樗鼈儽炔豢刹鹦哆B接件帶來(lái)更為頻繁的潛在漏點(diǎn)。

　　不銹鋼、鋁和鋼制成的法蘭部件可用作連接元件。不銹鋼制成的金屬軟管比厚壁橡膠或熱塑性塑料更適用于制作活動(dòng)式連接件。它們是低中真空范圍及以上范圍內(nèi)絕對(duì)的必需品。

　　從低真空到高真空范圍，具有DN10至DN50公稱寬度的ISO-KF法蘭連接用于可拆卸的連接，對(duì)于DN63至DN1000的較大公稱尺寸，使用ISO-K和ISO-F法蘭。超高真空兼容的可拆卸連接為公稱寬度DN16至DN400的CF法蘭連接，相應(yīng)公稱通徑DN400至DN800的法蘭為COF法蘭。.

　　O型圈密封件和凹槽

　　當(dāng)真空技術(shù)部件可拆卸地進(jìn)行連接時(shí)，必須使用密封件防止外界空氣流入真空。為防止這種情況，應(yīng)根據(jù)不同的應(yīng)用范圍和壓力范圍選用不同類型的密封件。

　　O型圈是所有密封件中Z頻繁使用的。它們具有不同的材料，彈性體硬度范圍通常在65至80 Shore A。單位ShoreA作為可塑性量度標(biāo)準(zhǔn)用于軟彈性體。在同樣的作用力下，數(shù)字越高，變形率越低。作為良好的真空密封件，O型圈的適用性源自其適應(yīng)于嚙合表面細(xì)微凹凸的能力。O型圈表面必須無(wú)泄漏油脂或滑石粉、光滑、無(wú)裂縫、無(wú)刮痕。該圈應(yīng)該無(wú)縫沖壓，沖壓工具的分界點(diǎn)應(yīng)該在圈直徑的水平面上，并可通過(guò)研磨去除。

　　O型圈可涂上一層低蒸氣壓油脂薄膜(硅潤(rùn)滑脂、礦物油基或全氟聚醚基潤(rùn)滑脂)，具體取決于所討論的應(yīng)用。真空潤(rùn)滑脂撫平密封面和O型圈表面上小的不平整，從而提高密封效果，特別是在變形率低的情況下。此時(shí)，應(yīng)該注意潤(rùn)滑脂的蒸氣壓隨溫度大幅上升，而且蒸氣壓應(yīng)保持在所需工作壓力之下。此外，必須檢查潤(rùn)滑脂的成分或少量的烴類是否與應(yīng)用兼容。在干式安裝的情況下，必須特別注意表面質(zhì)量、嚙合表面的清潔度以及密封材料。另外，變形率不應(yīng)太小，以確保O型圈與密封面之間的良好接觸。

　　O型圈的心線直徑通常為2至12mm。在英制區(qū)域，很多連接的直徑為5mm和5.33mm。一般而言，O型圈用作靜態(tài)密封。如果涉及到動(dòng)態(tài)應(yīng)力，應(yīng)該使用專為此目的而制造的精密O型圈或備選的機(jī)械密封件或徑向軸密封圈。

　　除了與定心環(huán)或密封墊圈結(jié)合使用外，O型圈也可用作軸向或徑向槽。在大多數(shù)情況下，通常通過(guò)使用一個(gè)扁平法蘭和一個(gè)凹槽法蘭結(jié)合的方式將O型圈置于凹槽和沖壓法蘭之間。必須仔細(xì)標(biāo)注凹槽的尺寸。這沒(méi)有普遍接受的尺寸。O型圈供應(yīng)商的尺寸表中所列尺寸只是用于定向的參考值。用戶必須根據(jù)每個(gè)具體應(yīng)用和適用性(例如，通過(guò)測(cè)試)對(duì)其進(jìn)行檢查。由于外部影響，如溫度、壓力或與所用流體的反應(yīng)，彈性體會(huì)發(fā)生膨脹、收縮、硬化，甚至可以產(chǎn)生裂縫。在選擇彈性體和凹槽時(shí)，必須考慮這一情況。此外，在每個(gè)操作條件下，密封效果必須足夠好，以確保O型圈不會(huì)過(guò)度壓縮。如果由于O型圈體積增大，凹槽過(guò)滿，會(huì)損壞O型圈，或者甚至扭曲法蘭。

　　對(duì)于靜態(tài)密封，5mm線厚度的Z大壓縮應(yīng)為25%左右。直徑越小，壓縮越多，直徑越大，壓縮越小。實(shí)際上，小于15%的壓縮，特別是干式安裝，可導(dǎo)致密封效果不足。變形力主要是由線厚度和彈性體硬度決定的。要將厚度為5.33mm的O型圈壓縮20%，對(duì)于硬度為70 Shore A的，每毫米密封長(zhǎng)度需要5N的力，對(duì)于硬度為80 ShoreA的，每毫米需要7N的力。

　　為了便于裝配，選擇的O型圈凹槽直徑通常稍大于O型圈的直徑。這可以使O型圈在裝配過(guò)程保持在凹槽內(nèi)。橡膠圈的長(zhǎng)度可安全地拉伸5%。Z大伸展量取決于材料和操作條件。

　　可使用具有梯形或類似橫截面的彈性體密封件，例如，用于閥座、蓋和真空室的門。應(yīng)該標(biāo)注梯形開(kāi)口的尺寸，以使O型圈在插入時(shí)不被損壞，另一方面，在閥板被抬起或當(dāng)打開(kāi)腔門時(shí)，O型圈不會(huì)被拉出。此外，當(dāng)出現(xiàn)巨大的接觸力，例如，對(duì)于大型腔門，梯形凹槽必須允許足夠的空間用于變形的O型圈，以使變形保持在限制內(nèi)。

　　要密封螺絲釘，例如加油口螺絲釘或放油塞，必須在角位置安裝O型圈。螺紋在其上端具有45°的凹槽，O型圈插入該凹槽中，然后通過(guò)螺絲釘表面進(jìn)行壓縮。密封應(yīng)進(jìn)行潤(rùn)滑，所以在緊固時(shí)不會(huì)受到損壞。而且，安裝空間必須大于O型圈的體積。

　　在真空技術(shù)中，盡可能避免扁平墊片與平面密封相結(jié)合。對(duì)于這一點(diǎn)，需要一個(gè)很強(qiáng)的接觸力，以便密封材料能夠?qū)λ胁黄秸谋砻孢M(jìn)行填充。如果使用扁平墊片，往往會(huì)發(fā)生局部密封面循環(huán)凸起的，例如，CF法蘭與FKM扁平墊片組合。

矩形槽、梯形槽和角位置上的O型圈密封件